GIANT (burn/wet)
GIANTEl sistema GIANT está diseñado para el tratamiento de gases residuales con caudales de hasta 800 slm procedentes de procesos de deposición química en fase de vapor (CVD), donde los gases se conducen hacia el sistema combinado de quemador y lavador a través de un máximo de 5 entradas de gases separadas. El sistema permite tratar y evacuar de forma segura y eficiente tanto los gases de deposición como el SiH4 ó NH3 etc., como los gases de purificación, NF3, F2 ó SF6.
Folleto: DAS GIANT (PDF, 830 KB)
