ESCAPE (burn/wet)
TecnologíaLos gases residuales que provienen del proceso son conducidos hacia el centro de un quemador, donde tiene lugar la termólisis de los gases residuales. Dependiendo de la composición química de éstos, se producirán entonces diferentes reacciones (oxidación, reducción, pirólisis). Durante el posterior proceso de lavado se ligan las materias gaseosas y sólidas del proceso de combustión, para lo cual se usa un líquido adecuado. Para el tratamiento de los efluentes sensibles a las reacciones de hidrólisis u oxidación se instala además el sistema de purga de nitrógeno y se calientan la instalación y las válvulas. Los clásicos ejemplos son el tricloruro de boro, el hexafluoruro de tungsteno y el compuesto hidrogenado de silicio (silano), pues estas sustancias reaccionan con la humedad del aire o con el oxígeno, formando sedimentos que pueden bloquear tanto las líneas de producción, como los instrumentos del sistema.
ESCAPEINLINE®
La tecnología de quemador y lavador es uno de los métodos más eficientes del mundo para el tratamiento de gases residuales, además con la ventaja de estar disponible a precio económico. De ahí que dicha tecnología sea el elemento central de nuestra línea de productos ESCAPE. La gama ESCAPEINLINE® es nuestro sistema básico, respondiendo en el 90 por ciento de los casos a los requisitos de los procesos aplicados en el sector de semiconductores.
El sistema ofrece multitud de ventajas, entre las cuales destacan la gran eficiencia de tratamiento, su bajo coste de adquisición, su diseño compacto y la capacidad de funcionar en una red con otros sistemas. Además es posible usar cualquier gas combustible con estos sistemas. Los sistemas ESCAPE pueden instalarse uno junto a otro, pues sólo se necesita un único acceso a los paneles frontales y posteriores para realizar las tareas de mantenimiento. El mantenimiento y las eventuales reparaciones del sistema se realizan además rápidamente y con toda facilidad, sin que sea necesario disponer de herramientas especiales.
Folleto: DAS ESCAPE (PDF, 970 KB)
ESCAPETWIN®
ESCAPETWIN® es el sistema ideal para el tratamiento de gases residuales en procesos con gases peligrosos y en procesos industriales con perfluorocarbonos (PFC) como se dan en la industria de semiconductores, tales como SiH4, TEOS, BCl3, CF4, C2F6, F2, SF6, Cl2, NH3, WF6, NF3, PH3 y HBr. La tecnología de quemador y lavador es uno de los métodos más eficientes del mundo para el tratamiento de gases residuales, además con la ventaja de estar disponible a precio económico. De ahí que dicha tecnología sea el elemento central de nuestra línea de productos ESCAPE. ESCAPETWIN es la perfecta solución siempre que el usuario desee que sus sistemas de tratamiento de gases residuales funcionen sin interrupciones, esto es, con un tiempo operativo equivalente a un 100 por ciento. El TWIN incluye un segundo sistema ESCAPE a efectos de reserva que opera con independencia total del primero y que está dispuesto junto con éste dentro de una misma caja. Los dos sistemas están conectados mediante una válvula de flotador que cambia automáticamente al sistema de reserva durante las operaciones de mantenimiento o cuando falla el sistema principal. Estos dos sistemas de quemador y lavador operan con independencia el uno del otro y están diseñados en base al acreditado sistema ESCAPEINLINE®. Además es posible usar cualquier gas combustible con estos sistemas. Las tareas de mantenimiento se realizan rápidamente y con toda facilidad, sin que sea necesario disponer de herramientas especiales. En la versión ESCAPEDUO, el sistema TWIN realiza el tratamiento de los gases residuales simultáneamente en ambos reactores. Es decir, que si se presenta una avería en uno de los reactores, el otro se encarga de tratar los efluentes en todos los conductos de gases residuales.
Folleto: DAS ESCAPE (PDF, 970 KB)
ESCAPEDUO
ESCAPEDUO es la solución idónea para aplicaciones con caudales de gas máximos que requieran una elevada seguridad de evacuación y donde a la vez se disponga solamente de poco espacio para montar el sistema.
ESCAPEDUO es un sistema de dos reactores que realiza el tratamiento de los gases residuales simultáneamente en ambos reactores. Así, en caso de defecto o avería de uno de los reactores, el otro realiza por completo el tratamiento de los gases residuales.
Folleto: DAS ESCAPE (PDF, 970 KB)
