AQUABATEEPI
Las siglas EPI significan epitaxia. Estas torres de lavado se han desarrollado específicamente para el tratamiento y la eliminación en procesos con métodos epitaxiales. A la hora de diseñar estos lavadores hemos atribuido especial importancia al cumplimiento de unos elevados estándares de seguridad con respecto al gas portador que se usa para el proceso de epitaxia, el hidrógeno. Después del lavado, el hidrógeno es diluido controladamente hasta el límite inferior de explosividad (LIE).
Brochure: DAS AQUABATE (PDF, 860 KB)
Epitaxia con presión atmosférica y/o reducida:
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Largos ciclos de mantenimiento, incluso en caso de elevados caudales TCS
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Bajas emisiones de polvo
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Alta eficiencia
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Estándares de seguridad muy elevados
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Concepto de seguridad sofisticadoy diseño compacto
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Fácil mantenimiento
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Bomba centrífuga con acoplamiento magnético sin mantenimiento
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Óptimo aprovechamiento del líquido de lavado
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Toberas de rociado resistentes al atasco que no requieren mantenimiento
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Columna de absorción que no requiere mantenimiento, sin cuerpos llenadores
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Caja completa con ventilación permanente
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Doble sistema desvaporizador (demister) con función automática de limpieza
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Opcionalmente con drenaje presurizado
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Opcionalmente con dosificación de químicos
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Opcionalmente con capacidad de funcionar en una red con otros sistemas
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Opcionalmente con regulación de la presión del proceso
Datos técnicos
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Dimensiones: |
1800mm x 1200mm x 900mm |
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Energía: |
2,7kW / 3x400V |
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Agua adicionada*: |
140 litros / h |
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Agua residual*: |
140 litros / h |
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Nitrógeno*: |
120 litros / min |
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Entrada de gas: |
máx. 3 x KF40 |
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Salida de gas: |
DN50 |
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Volumen de gas máx.*: |
36 m³/h |
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Sistema de control: |
PLC de OMRON |
* depende del proceso
AQUABATEEPI
Aplicaciones
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Epitaxy RP + AP |
DCS, SiH4, TCS, B2H6, PH3, AsH3, HCl |
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SiGe - Epitaxy* |
SiH4, GeH4, HCl |
* se combina frecuentemente con la tecnología ESCAPE o con absorbedores secos
Opciones
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Regulación de la presión del proceso en procesos críticos que requieren una elevada estabilidad a la presión
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Intercambiadores térmicos para reducir el consumo de agua en caso de elevadas concentraciones de lejía
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Dosificación de químicos, por ej. de lejía, para aumentar la eficiencia en el tratamiento de gases determinados
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Medida del pH para la dosificación controlada de químicos
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Entradas calentadas para gases críticos
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Aptitud para el funcionamiento en una red para monitorizar a la vez varios lavadores (presiones, niveles, estados, listas de alarmas), sólo con el PLC de OMRON
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Drenaje presurizado para bombear el líquido de lavado usado a los sistemas de aguas residuales situados en niveles superiores
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