AQUABATE
Dieser Wäschertyp wird vor allem als POU (point of use)-Wäscher in der Halbleiterindustrie eingesetzt. Die Wäscher werden in kürzest möglichen Abständen hinter den Vakuumpumpen installiert und schützen so optimal das FAB-Absaugungssystem.
Der AQUABATE ist mit bis zu drei separaten anti-clogging Einlässen lieferbar. Die Zuleitungen zu diesen Einlässen können auf bis zu 150°C beheizt werden.
Broschüre: DAS AQUABATE (PDF, 860 KB)
Standard POU Anwendungen
- Beheizte Zuführungen zum Wäscher sind möglich
- Bis zu 3 seperate, beheizbare anti-clogging Gaseintritte
- DRE >99%
- für entsorgbare Gase
- Effizienzerhöhung durch optionale Chemikaliendosierung möglich
- Kleiner Footprint
- Geringe Bauhöhe
- Gute Zugänglichkeit der Eintritte und Armaturen
- Überwachte Leckwanne
- Druckschalter vor den Eintritten
- SPS Überwachung aller Funktionen
- Trockenlaufsichere, wartungsfreie Tauchpumpe
- Optimale Ausnutzung der Waschflüssigkeit
- Wartungsfreie, verstopfungsunempfindliche Sprühdüsen
- Keine Füllkörper, wartungsfreie Absorbtionsstrecke
- Komplette Einhausung optional erhältlich
- Automatische Demisterspülung optional erhältlich
- Ableitung mittels Unterdruck optional erhältlich
- Netzwerkfähig optional
Technische Daten
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Dimensionen: |
1500mm x 700mm x 800mm (H x B x T) |
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Energie: |
1,55kW / 3x400V |
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Frischwasser: |
160 liter / h |
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Abwasser: |
160 liter / h |
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Stickstoff: |
120 liter / min |
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Gaseintritt: |
max. 3 x KF40 |
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Gasaustritt: |
DN50 |
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max. Gasmenge: |
24 m³ / h |
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Steuerung: |
OMRON-SPS |
Anwendungen
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Trockenätzung |
BCl3, HBr, SiF4, Cl2, Nebenprodukte |
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CVD |
DCS, NH3, SiH4, Nebenprodukte aus den Reinigungsschritten |
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WCVD |
WF6, SiH4, Nebenprodukte aus den Reinigungsschritten |
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LPCVD |
DCS, SiH4, NH3, PH3 |
Optionen
Komplette Einhausung
Für eine permanente Besaugung aller gasführenden Anlagenkomponenten
Wärmetauscher
Für geringeren Wasserverbrauch
Chemikaliendosierung
z.B. Lauge, für höhere Effizienzen bei bestimmten Gasen
pH-Messung
Für kontrollierte Chemikaliendosierung
Analoge Eintrittsdrucksensoren
Bessere Überwachungsmöglichkeit des Gaseintritts
Beheizte Gaseintritte
Für kritische Gase
Netzwerkfähigkeit
Für Monitoring mehrerer Wäscher ( Drücke, Pegel, Zustände, Alarmlisten ) nur für OMRON-SPS
Automatischer Bypass
Automatische Umschaltung vor dem Wäscher mittels 3-Wegeventil bei Störung /Wartung
Ableitung mittels Unterdruck
Abpumpen der verbrauchten Waschflüssigkeit in höher gelegene Abwassersysteme
