Escape (燃烧/湿洗)
（燃烧/湿洗）技术ESCAPE废气处理系统的原理
从主设备输出的废气流入燃烧器的中心，在火焰中加热分解。通过化学合成，产生各种各样的化学反应, 包括氧化反应、高温加热分解等。在随后的洗刷过程中, 燃烧过程中产生的气态和固态化合物被相应的液体吸收。
当废气对水解或氧化作用较敏感时, 可安装氮气吹扫系统(NPS) ，并加热管道和阀门。典型的例子是三氯化硼、六氟化钨和硅烷, 会与空气中湿气或氧气起反应而形成沉淀,导致管道堵塞。
Escape INLINE®
在世界范围内，燃烧/湿洗技术是最低生产运行成本最有效的废气处理技术之一。此技术是ESCAPE ESCAPE系列产品的核心。
ESCAPEINLINE®是被广泛证实了的基本系统，适用于半导体工业90%的废气处理要求。它拥有许多优点，例如：高处理效率，低生产运行成本，占地小和网络管理能力。所有的可燃烧气体都可使用。
ESCAPE系统可以侧面并排安装，前后空间维修之用。维修服务方便快捷，不需要特殊的工具。
Brochure: DAS ESCAPE (PDF, 970 KB)
Escape TWIN
EscapeTWIN 提供了在半导体行业内将所有有害和PFC工艺气体（如：SiH4, TEOS, BCl3, CF4, C2F6, F2, SF6, Cl2, NH3, WF6, NF3, PH3, HBr等）达到 处理率的解决方案。
在世界范围内，燃烧/净化技术是最低生产运行成本最有效的废气处理技术之一。因此，这项已经得到广泛证实了的技术成为ESCAPE系列产品的核心。
每一个应用这项技术的系统都需要定期进行维护，以保证系统的正常工作，该系统的维护时间平均是1小时/月。与同类竞争者相比，这个比例是极低的。如果用户需要在废气处理时，机台利用率要求达到100%，ESCAPETWIN无疑是最完美的解决方案。在同一个机柜中，TWIN包含了第二个完全独立的ESCAPE系统作为备用，两个系统通过一个球型阀连接，当机器需进行维护或主系统出现故障时，将自动切换到备用系统。 两个完全独立的燃烧/净化系统都是基于运行良好的 ESCAPEINLINE® 系统。任何燃烧气体都可在ESCAPETWIN设备中使用。维护方便快捷，无需任何特殊工具。
Brochure: DAS ESCAPE (PDF, 970 KB)
EscapeDUO
EscapeDUO 提供了在半导体行业内将所有有害和PFC工艺气体（如：SiH4, TEOS, BCl3, CF4, C2F6, F2, SF6, Cl2, NH3, WF6, NF3, PH3, HBr等）达到100%处理率的解决方案。
在世界范围内，燃烧/净化技术是最低生产运行成本最有效的废气处理技术之一。因此，这项已经得到广泛证实了的技术成为ESCAPE系列产品的核心。
每一个应用这项技术的系统都需要定期进行维护，以保证系统的正常工作，该系统的维护时间平均是1小时/月。与同类竞争者相比，这个比例是极低的。如果用户需要在废气处理时，机台利用率要求达到100%，ESCAPEDUO无疑是最完美的解决方案。在同一个机柜中，TWIN包含了第二个完全独立的ESCAPE系统作为备用，两个系统通过一个球型阀连接，当机器需进行维护或主系统出现故障时，将自动切换到备用系统。 两个完全独立的燃烧/净化系统都是基于运行良好的 ESCAPEINLINE® 系统。任何燃烧气体都可在ESCAPEDUO设备中使用。维护方便快捷，无需任何特殊工具。
Brochure: DAS ESCAPE (PDF, 970 KB)
