AQUABATEEPI
EPI steht für Epitaxie. Diese Wäscher sind speziell für die Entsorgung von Epitaxie-Prozessen entwickelt. Wir legen bei diesen Wäschern besonderen Wert auf hohe Sicherheitsstandards in Bezug auf das bei der Epitaxie verwendete Trägergas Wasserstoff. Nach dem Wäscher wird der Wasserstoff kontrolliert auf die untere Explosionsgrenze (UEG) verdünnt.
Broschüre: DAS AQUABATE (PDF, 860 KB)
Atmosphärisch und epitaxiereduziert
- Lange Wartungszyklen auch bei hohen TCS - Flüssen
- Geringer Staubaustrag
- Hohe Effizienz
- Sehr hoher Sicherheitsstandard
- Ausgereiftes Sicherheitskonzept
- Geringer Platzbedarf
- Wartungsfreundlich
- Wartungsfreie, magnetgekoppelte Kreiselpumpe
- Optimale Ausnutzung der Waschflüssigkeit
- Wartungsfreie, verstopfungsunempfindliche Sprühdüsen
- Keine Füllkörper, wartungsfreie Absorptionsstrecke
- Komplette Einhausung permanent besaugt
- Doppeltes Entnebelungssystem mit automatischer Reinigungsfunktion
- Ableitung mittels Unterdruck optional erhältlich
- Optionale Chemikaliendosierung möglich
- Netzwerkfähig optional
- Prozessdruckreglung optional
Technische Daten
Dimensionen: 1800mm x 1200mm x 900mm ( H x B x T )
Energie: 2,7kW / 3x400V
Frischwasser*: 140 liter / h
Abwasser*: 140 liter / h
Stickstoff*: 120 liter / min
Gaseintritt: max. 3 x KF40
Gasaustritt: DN50
max. Gasmenge*: 36 m³ / h
Steuerung: OMRON-SPS
* Prozessabhängig
AQUABATEEPI
Anwendungen
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Epitaxie RP + AP |
DCS, SiH4, TCS, B2H6, PH3, AsH3, HCl |
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SiGe - Epitaxie* |
SiH4, GeH4, HCl |
* oft in Kombination mit ESCAPE-Technologie oder Trockenabsorbern
Optionen
Prozessdruckreglung
Für kritische Prozesse bei denen hohe Druckstabilität gefordert wird
Wärmetauscher
Für geringeren Wasserverbrauch bei hohen Laugekonzentrationen
Chemikaliendosierung
z.B. Lauge, für höhere Effizienzen bei bestimmten Gasen
pH-Messung
Für kontrollierte Chemikaliendosierung
Beheizte Gaseintritte
Für kritische Gase
Netzwerkfähigkeit
Für Monitoring mehrerer Wäscher (Drücke, Pegel, Zustände, Alarmlisten) nur für OMRON-SPS
Ableitung mittels Unterdruck
Abpumpen der verbrauchten Waschflüssigkeit in höher gelegene Abwassersysteme
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