AQUABATE
AQUABATE is our wet treatment technology to abate waste gases efficiently, safely and nearly maintenance free. The wet scrubbers are offered for different processes.
Brochure: DAS AQUABATE (PDF, 860 KB)
标准 POU 应用
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scrubber 中的管道可加热 |
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多达三个独立的防堵塞的废气进口 |
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DRE >99% |
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可选择的化学用量加强效率 |
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质量轻 |
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进口和器械可达性 |
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可控制的滴盘 |
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所有的进口都安装有传感器 |
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使用PLC监测所用功能 |
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可靠的保持干燥的泵体 |
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水洗液体的最佳应用 |
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无需维护的，防堵塞的喷嘴 |
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无需包装和维护的吸收柱体 |
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可选择的机柜 |
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可选择的自动除雾器 |
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可选择的压力排水 |
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可选择的网络兼容性 |
技术参数
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尺寸: |
1500mm x 700mm x 800mm ( H x W x D ) |
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功率: |
1,55kW / 3x400V |
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淡水: |
160 liter / h |
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废水: |
160 liter / h |
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氮气: |
120 liter / min |
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气体进口: |
max. 3 x KF40 |
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气体出口: |
DN50 |
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最大气体流量 |
24 m³ / h |
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控制: |
OMRON-SPS |
应用
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dry etch |
BCl3, HBr, SiF4, Cl2, by-products |
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CVD |
DCS, NH3, SiH4, clean step by-products |
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WCVD |
WF6, SiH4, clean step by-products |
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LPCVD |
DCS, SiH4, NH3, PH3 |
选项
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机柜 |
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热交换器 |
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化学用量 |
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ph测量 |
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燃气进口的压力传感器 |
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燃气进口的加热 |
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网络兼容性 |
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自动旁路设置 |
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压力排水 |
